依據(jù)GB50472-2008《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》

12.3.4 潔凈廠房?jī)?nèi)火災(zāi)探測(cè)器的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機(jī)房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測(cè)器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置智能型探測(cè)器；

　　2 當(dāng)潔凈廠房防火分區(qū)面積超過(guò)現(xiàn)行 標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的規(guī)定時(shí)或頂部安裝點(diǎn)式探測(cè)器不能滿(mǎn)足現(xiàn)行規(guī)范設(shè)計(jì)要求時(shí)，在潔凈室(區(qū))內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風(fēng)前的回風(fēng)氣流中應(yīng)設(shè)置靈敏度嚴(yán)于0.01% obs/m的早期煙霧報(bào)警探測(cè)器（編者注：即吸氣式感煙火災(zāi)探測(cè)器）；

　　3 硅烷儲(chǔ)存、分配間(區(qū))，應(yīng)設(shè)置紅外線(xiàn)-紫外線(xiàn)火焰探測(cè)器；

　　4 潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層(不包括不通行的技術(shù)夾層)應(yīng)設(shè)置手動(dòng)報(bào)警按鈕和聲光報(bào)警裝置。

　　【條文說(shuō)明】12.3.4 制定本條的依據(jù)是：

　　1電子工業(yè)潔凈廠房?jī)?nèi)火災(zāi)探測(cè)器選擇時(shí)，應(yīng)充分考慮潔凈室(區(qū))的環(huán)境條件及房間構(gòu)造特點(diǎn)，如高度、面積、空氣流向、流速、有無(wú)對(duì)火災(zāi)探測(cè)器的干擾等，以及火災(zāi)探測(cè)器的特性和技術(shù)指標(biāo)。選用智能型探測(cè)器可比較可靠地探測(cè)火災(zāi)。

　　2在一些芯片制造和第五代、六代以上液晶顯示器生產(chǎn)用潔凈廠房，潔凈生產(chǎn)區(qū)的面積較大，防火分區(qū)的面積大大超過(guò)現(xiàn)行 標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的更大 容許建筑面積，為強(qiáng)化消防設(shè)計(jì)技術(shù)措施，本條明確規(guī)定在潔凈室(區(qū))內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風(fēng)前的回風(fēng)氣流中，應(yīng)設(shè)置高靈敏度的早期煙霧報(bào)警探測(cè)器，把著眼點(diǎn)放在不可見(jiàn)煙霧的探測(cè)，盡早發(fā)現(xiàn)火情，把火災(zāi)消滅在萌發(fā)階段，為避免事態(tài)擴(kuò)大爭(zhēng)取到更多的寶貴時(shí)間。據(jù)了解，近年來(lái)這類(lèi)潔凈廠房均在回風(fēng)氣流中安裝了高靈敏度早期報(bào)警火災(zāi)探測(cè)器，雖然費(fèi)用較高和安裝、維護(hù)要求嚴(yán)格，但仍然得到了用戶(hù)和消防部門(mén)的認(rèn)可。

　　3在室溫下，硅烷是一種在空氣中可以自燃的氣體，硅烷一旦泄漏，很快燃燒，不產(chǎn)生煙霧。而紅外—紫外線(xiàn)(UV-IR)雙重掃描的火焰探測(cè)器，對(duì)硅烷產(chǎn)生的火災(zāi)反應(yīng)速度最快。故規(guī)定硅烷儲(chǔ)存、分配間(區(qū))應(yīng)采用火焰探測(cè)器。

　　4潔凈室(區(qū))的上下技術(shù)夾層、靜壓箱有時(shí)是有操作人員在現(xiàn)場(chǎng)的，當(dāng)這些區(qū)域發(fā)生火災(zāi)時(shí)，為了 時(shí)間發(fā)出警報(bào)，便于人員疏散，應(yīng)設(shè)置手動(dòng)報(bào)警按鈕和聲光報(bào)警裝置。

12.3.6 潔凈廠房?jī)?nèi)下列場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置：

　　1 易燃、易爆、有毒氣體的儲(chǔ)存分配間(區(qū))；

　　2 易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門(mén)箱內(nèi)；

　　3 工藝設(shè)備的氣體分配箱和排風(fēng)管內(nèi)。

　　【條文說(shuō)明】1在一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中使用品種多樣的易燃、易爆、有毒氣體，如SiH4、SiH2Cl2、NH3、C4F6，AsH3、PH3、Cl2等。這些氣體一旦泄漏，將可能產(chǎn)生火災(zāi)或爆炸、或危及操作人員安全、或?qū)υO(shè)備造成損害。因此，必須設(shè)置有效、安全、可靠的氣體探測(cè)和控制系統(tǒng)，避免、防止因氣體泄漏造成事故。氣體探測(cè)器按原理分，有電化學(xué)式、化學(xué)紙帶式、紅外技術(shù)和固態(tài)金屬氧化物技術(shù)等；按采樣方式分，有泵吸式和擴(kuò)散式。應(yīng)根據(jù)所監(jiān)測(cè)的氣體物化特性和使用環(huán)境特點(diǎn)合理選用。

　　2因在各種氣體的輸送管道和特種氣體的氣瓶柜、分配閥門(mén)箱內(nèi)的氣瓶閥、減壓閥、分配閥、切換閥等的連接處容易產(chǎn)生氣體泄漏，在特氣柜更換氣瓶時(shí)因操作不當(dāng)閥門(mén)未關(guān)緊，管道接口、閥門(mén)受腐蝕或連接不牢固等原因，易產(chǎn)生氣體泄漏。因此，在這些易發(fā)生泄漏的場(chǎng)所，沿程管道的閥門(mén)或接頭易泄漏處和氣瓶柜、分配閥門(mén)箱內(nèi)均應(yīng)設(shè)置檢測(cè)點(diǎn)。氣瓶柜、分配閥門(mén)箱均設(shè)有強(qiáng)制排風(fēng)系統(tǒng)，如有氣體泄漏時(shí)，泄漏的氣體大部分被吸入到排風(fēng)管內(nèi)，所以應(yīng)將采樣點(diǎn)設(shè)置在排風(fēng)管口處。

　　3氣體泄漏報(bào)警裝置報(bào)警后，為了及時(shí)切斷相應(yīng)氣體的氣源，防止繼續(xù)泄漏，造成著火、爆炸事故，應(yīng)自動(dòng)聯(lián)鎖相應(yīng)氣體輸送管道的進(jìn)氣閥門(mén)。

　　4美國(guó)消防協(xié)會(huì)發(fā)布的NFPA 318《潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn)》，第6.6.1條規(guī)定：易燃或有毒氣體在使用中，應(yīng)設(shè)置于配有排氣通風(fēng)的柜內(nèi)，柜內(nèi)應(yīng)設(shè)置氣體監(jiān)測(cè)報(bào)警和自動(dòng)切斷氣體供應(yīng)設(shè)施。第6.6.3條規(guī)定：在可能有易燃、有毒氣體泄漏的場(chǎng)所、閥門(mén)或裝配件或接頭處，應(yīng)設(shè)置氣體報(bào)警和排氣通風(fēng)設(shè)施，一旦報(bào)警時(shí)，應(yīng)能切斷氣源。第6.6.5條規(guī)定：對(duì)可能發(fā)生易燃?xì)怏w泄漏的場(chǎng)所，設(shè)置爆炸下限20％的報(bào)警裝置。以上各條要求是制定本條規(guī)定的主要依據(jù)。